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＜technical report＞
FIB試料（ジルコニウム）のフラッシュ電解研磨による効果
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| Abstract | 透過型電子顕微鏡（TEM）の試料作製手法の一つである収束イオンビーム（FIB）は、加工によって試料内部にスパッタリングによるダメージ（欠陥）が形成され、観察対象の照射欠陥などとの区別が難しくなるという問題がある。FIBによるダメージの除去を目的に、フラッシュ電解研磨時間を最小0.01秒まで制御可能なタイマーリレーを作製し、純ジルコニウムおよびその合金のFIB試料におけるフラッシュ電解研磨の効果を調...べた。show more |
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| File | FileType | Size | Views | Description |
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05_p013
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2.44 MB | 168 |
Details
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| Record ID | |
| Subject Terms | |
| Created Date | 2023.07.27 |
| Modified Date | 2023.07.28 |