フェムト秒レーザによる難加工材料加工及びCMPへの応用 - 九大コレクション

＜博士論文＞
フェムト秒レーザによる難加工材料加工及びCMPへの応用

	Femtosecond laser processing on hard-to-process materials and its application to CMP process
作成者	作成者姓名王, 成武 WANG, CHENGWU オウ, セイブ
論文調査委員	黒河周平
	澤田廉士
	土肥俊郎
本文言語	英語
学位授与年度	2015
学位授与大学	九州大学
学位授与大学	Kyushu University
学位	博士（工学）
学位種別	課程博士
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	open access
JaLC DOI	https://doi.org/10.15017/1654868

ファイル	ファイルタイプ	利用条件	サイズ	閲覧回数	説明
eng2560	pdf	なし	8.36 MB	2,894	本文
eng2560_abstract	pdf	なし	57.3 KB	525	要旨
eng2560_review	pdf	なし	29.9 KB	349	審査結果要旨