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＜紀要論文＞
ヘリコン波によるプラズマ生成
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| 概要 | A high-density plasma of about 10^<13>cm^<-3> is realized by using radio-frequency (RF) waves. It is experimentally shown that efficient coupling of RF power to a plasma is possible with helicon wave...s because of the good match between parallel phase velocity and electron thermal speed.続きを見る |
詳細
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| NCID | |
| 登録日 | 2010.06.12 |
| 更新日 | 2020.11.17 |