<紀要論文>
ヘリコン波によるプラズマ生成

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概要 A high-density plasma of about 10^<13>cm^<-3> is realized by using radio-frequency (RF) waves. It is experimentally shown that efficient coupling of RF power to a plasma is possible with helicon wave...s because of the good match between parallel phase velocity and electron thermal speed.続きを見る

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登録日 2010.06.12
更新日 2020.11.17

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