<テクニカルレポート>
FIB試料(ジルコニウム)のフラッシュ電解研磨による効果
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概要 | 透過型電子顕微鏡(TEM)の試料作製手法の一つである収束イオンビーム(FIB)は、加工によって試料内部にスパッタリングによるダメージ(欠陥)が形成され、観察対象の照射欠陥などとの区別が難しくなるという問題がある。FIBによるダメージの除去を目的に、フラッシュ電解研磨時間を最小0.01秒まで制御可能なタイマーリレーを作製し、純ジルコニウムおよびその合金のFIB試料におけるフラッシュ電解研磨の効果を調...べた。続きを見る |
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登録日 | 2023.07.27 |
更新日 | 2023.07.28 |