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＜テクニカルレポート＞
FIB試料（ジルコニウム）のフラッシュ電解研磨による効果
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| 概要 | 透過型電子顕微鏡（TEM）の試料作製手法の一つである収束イオンビーム（FIB）は、加工によって試料内部にスパッタリングによるダメージ（欠陥）が形成され、観察対象の照射欠陥などとの区別が難しくなるという問題がある。FIBによるダメージの除去を目的に、フラッシュ電解研磨時間を最小0.01秒まで制御可能なタイマーリレーを作製し、純ジルコニウムおよびその合金のFIB試料におけるフラッシュ電解研磨の効果を調...べた。続きを見る |
詳細
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| 主題 | |
| 登録日 | 2023.07.27 |
| 更新日 | 2023.07.28 |