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＜technical report＞
77K Si結晶PL測定の精度向上に向けた取り組み
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| Abstract | 当研究所新エネルギーシステム工学分野では、パワーデバイス用半導体の品質向上を目的とした研究の一環として、フォトルミネッセンス法（PL法）による低濃度不純物定量法の標準化に向けた測定実験が行われている。当該の測定を行うには種々のテクニックが必要であり、2021年3月に装置が設置されて以降、安定した測定を行うための試行錯誤が繰り返されてきた。本稿では、その試行錯誤の内容について記載する。 |
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| File | FileType | Size | Views | Description |
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05_p007
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2.38 MB | 801 |
Details
| NCID | |
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| Record ID | |
| Subject Terms | |
| Created Date | 2023.07.27 |
| Modified Date | 2024.07.26 |