<紀要論文>
YMnO_3誘電体薄膜の作成とその特性

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概要 Dielectric YMnO_3 thin-film was prepared by spin-coating method. The spin-coating solution contained manganese(Ⅲ)acetate and yttrium(Ⅲ)acetate in a mixed solvent of 2-methoxyethnol and diethaxnolamine... at the volume ratio of 94.7 : 5.3. XRD analysis revealed that the obtained thin-film consisted of single-phasic and(001)-oriented perovskite YMnO_3. The dielectric constant of the film was estimated to be 24 from the capacitance-voltage measurements.続きを見る

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登録日 2010.03.09
更新日 2020.11.17

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