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<図書>
はじめての薄膜作製技術
ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ

責任表示 草野英二著
データ種別 図書
第2版
出版者 東京 : 森北出版
出版年 2012.11
本文言語 日本語
大きさ vii, 160p ; 22cm
概要 薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
目次 第1章 薄膜とは
第2章 薄膜作製技術の基礎
第3章 真空蒸着法
第4章 スパッタリング法
第5章 化学気相成長法
第6章 薄膜の評価技術
第7章 薄膜作製技術の応用

所蔵情報


筑紫図 060112012007102 549.8/Ku 84 2012

書誌詳細

別書名 異なりアクセスタイトル:薄膜作製技術 : はじめての
一般注記 工業調査会(2006年刊)に加筆訂正を加えて再出版したもの
参考文献: p155-158
著者標目 草野, 英二(工学) <クサノ, エイジ>
件 名 BSH:薄膜
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1001503394
ISBN 9784627774520
NCID BB1085822X
巻冊次 ISBN:9784627774520 ; PRICE:2500円+税
登録日 2013.04.10
更新日 2013.04.10

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