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＜図書＞
はじめての薄膜作製技術
ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
| 責任表示 | 草野英二著 |
|---|---|
| データ種別 | 図書 |
| 版 | 第2版 |
| 出版者 | 東京 : 森北出版 |
| 出版年 | 2012.11 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | vii, 160p ; 22cm |
| 概要 | 薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。 |
| 目次 | 第1章 薄膜とは 第2章 薄膜作製技術の基礎 第3章 真空蒸着法 第4章 スパッタリング法 第5章 化学気相成長法 第6章 薄膜の評価技術 第7章 薄膜作製技術の応用 |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 資料番号 | 請求記号 | 刷年 | コメント | 請求メモ | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 | 060112012007102 | 549.8/Ku 84 | 2012 |
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書誌詳細
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:薄膜作製技術 : はじめての |
|---|---|
| 一般注記 | 工業調査会(2006年刊)に加筆訂正を加えて再出版したもの 参考文献: p155-158 |
| 著者標目 | 草野, 英二(工学) <クサノ, エイジ> |
| 件 名 | BSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 1001503394 |
| ISBN | 9784627774520 |
| NCID | BB1085822X |
| 巻冊次 | ISBN:9784627774520 ; PRICE:2500円+税 |
| 登録日 | 2013.04.10 |
| 更新日 | 2013.04.10 |