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<図書>
プラズマ/プロセスの原理
プラズマ プロセス ノ ゲンリ

責任表示 Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
データ種別 図書
第2版
出版者 東京 : 丸善
出版年 2010.1
本文言語 日本語
大きさ xxix, 612p : 挿図 ; 26cm

所蔵情報


理系図1F 開架 031112011000760 427.6/L 62 2011

筑紫図 060112015003436 427.6/L 62/A 2010

筑紫図 067112009003754 427.6/L 62 2010

工エネ量 7 037112010000070 427.6/L 62 2010

書誌詳細

別書名 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing
異なりアクセスタイトル:プラズマプロセスの原理
一般注記 監修: 堀勝
参考文献: p[591]-604
著者標目 Lieberman, M. A. (Michael A.)
Lichtenberg, Allan J
佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ>
堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル>
件 名 BSH:プラズマ物理学
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:427.6
NDC9:427.6
書誌ID 1001415757
ISBN 9784621082232
NCID BB00985264
巻冊次 ISBN:9784621082232 ; PRICE:18000円+税
登録日 2010.03.05
更新日 2015.12.08

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