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<図書>
Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.

責任表示 editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg
シリーズ Materials Research Society symposia proceedings ; v. 17
データ種別 図書
出版者 New York : North-Holland
出版年 c1983
本文言語 英語
大きさ xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm

所蔵情報


理系図 自動書庫 068252187000701 U2/Osg 1983

書誌詳細

一般注記 "Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso
Includes bibliographical references and indexes
著者標目 Osgood, R. M.
Brueck, S. R. J.
Schlossberg, H. R.
United States. Air Force. Office of Scientific Research
件 名 LCSH:Lasers -- Industrial applications -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Semiconductors -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TA1673
DC19:621.3815/2
書誌ID 1001137350
ISBN 0444007822
NCID BA03265606
巻冊次 ISBN:0444007822 ; PRICE:$73.00
登録日 2009.09.17
更新日 2009.09.17

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