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<図書>
プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門
プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク : セイマク ト エッチング ニュウモン

責任表示 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著
データ種別 図書
出版者 東京 : 内田老鶴圃
出版年 2003.7
本文言語 日本語
大きさ viii, 289p ; 22cm

所蔵情報


理系図2F 開架 031112006002425 549.8/I 14 2003

理系図2F 開架 031112006002437 549.8/I 14 2003

筑紫図 060112012000727 549.8/I 14 2003

総理工 研究室 062112003000057 549.8/I 14 2003

書誌詳細

著者標目 市川, 幸美 <イチカワ, ユキミ>
佐々木, 敏明 <ササキ, トシアキ>
堤井, 信力 <テイイ, シンリキ>
件 名 BSH:半導体
BSH:プラズマ
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1001062519
ISBN 4753650480
NCID BA6324911X
巻冊次 ISBN:4753650480 ; PRICE:4000円+税
登録日 2009.09.17
更新日 2009.09.17

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