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<図書>
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ

責任表示 金原粲著
データ種別 図書
出版者 東京 : 東京大学出版会
出版年 1984.3
本文言語 日本語
大きさ ix, 231p ; 22cm

所蔵情報


理系図2F 開架 068251191000502 549.8/Ki 41 1984

理系図 自動書庫 068251186001243 42/C/KIN 1984

理系図 自動書庫 068251191002762 427.5/Kin 1985

筑紫図 自動書庫(閉架) 071132000105963 429/Ki 41 1985

工機械 トライボ6 025111998001731 42/B/KIN 1989

シ情 電気シス[AC5] 068251191012294 427.5/Kin 1989

総理工 研究室 062132000003154 2924/24/KIN 1984

書誌詳細

一般注記 各章末: 参考文献
一般的参考書: p226
著者標目 金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ>
件 名 NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
NDC9:549.8
書誌ID 1000168605
ISBN 4130610473
NCID BN00164488
巻冊次 ISBN:4130610473 ; PRICE:2800円
NBN JP84042324
登録日 2009.09.11
更新日 2009.09.17

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