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<図書>
プラズマプロセシングの基礎
プラズマ プロセシング ノ キソ

責任表示 Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
データ種別 図書
出版者 東京 : 電気書院
出版年 1985.11
本文言語 日本語
大きさ 13, 391p ; 22cm

所蔵情報


理系図1F 開架 068251186007234 427.6/C 33 1985

理系図1F 開架 068251186007246 427.6/C 33 1985

理系図 自動書庫 068251187015535 電気通信/普及財団/寄贈図書 1985

筑紫図 067112000005847 427.6/C 34 1985

筑紫図 自動書庫(閉架) 060132011000502 427.6 1987

シ情 電気シス[AC5] 068251188010636 B/Cha 1987

総理工 研究室 062132000011341 3095/61/CHA 1985

総理工 研究室 062111996000391 427.6 1993

書誌詳細

別書名 原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
一般注記 Glow discharge processes, c1980 の翻訳
参考文献: p[357]-386
著者標目 Chapman, Brian N.
岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ>
件 名 NDLSH:プラズマ
分 類 NDC8:427.6
NDLC:MC241
書誌ID 1000210325
ISBN 4485661180
NCID BN00319697
巻冊次 ISBN:4485661180 ; PRICE:6200円
NBN JP86055623
登録日 2009.09.11
更新日 2009.09.17

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