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<図書>
The physics and chemistry of SiO[2] and the Si-SiO[2] interface 2

責任表示 edited by C. Robert Helms and Bruce E. Deal
データ種別 図書
出版者 New York : Plenum Press
出版年 c1993
本文言語 英語
大きさ xvi , 503p. ; 26cm

所蔵情報


[伊]超顕微解析 068252193010724 138 1993

書誌詳細

一般注記 Proceedings of the Second Symposium on the Physics and Chemistry of the SiO[2] and Si-SiO[2] Interface, held May 18-21, 1992, in St. Louis, Missouri, sponsored by the Electronics Division and the Dielectric Science and Technology Division of the Electrochemical Society
Includes bibliographical references and index
著者標目 Helms, C. Robert
Deal, Bruce E.
Electrochemical Society. Electronics Division
Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division
Symposium on the Physics and Chemistry of the SiO[2] and Si-SiO[2] Interface (2nd : 1992 : St. Louis, Mo.)
件 名 LCSH:Silica -- Surfaces -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Dielectrics -- Surfaces -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Silicon dioxide films -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Surface chemistry -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Surfaces (Technology) -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:QC585.75.S55
DC20:546/.6832
書誌ID 1000002208
NCID BA21102079
登録日 1994.04.21
更新日 1996.03.07

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