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<図書>
Polysilicon films and interfaces : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A.

責任表示 editors, C.Y. Wong, C.V. Thompson, K.N. Tu
シリーズ Materials Research Society symposia proceedings ; v. 106
データ種別 図書
出版者 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
出版年 c1988
大きさ xi, 369 p. : ill. ; 24 cm

所蔵情報


[伊]超顕微解析 068252188006301 100 1988

書誌詳細

一般注記 "This volume represents the Proceedings of the Symposium on Polysilicon Films and Interfaces"--P. xi
Includes bibliographies and indexes
著者標目 Wong, C. Y. (Catherine Y.)
Thompson, C. V. (Carl V.)
Tu, K. N. (King-Ning)
Symposium on Polysilicon Films and Interfaces (1987 : Boston, Mass.)
件 名 LCSH:Silicon -- Electric properties -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Integrated circuits -- Materials -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7871.15.S55
DC19:620.1/93
書誌ID 1000001606
NCID BA0688725X
登録日 1991.11.28
更新日 1996.03.07

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