フラッシュ電解研磨を用いたFIB試料作製に係る評価と課題 - Collections

＜technical report＞
フラッシュ電解研磨を用いたFIB試料作製に係る評価と課題

Creator	Creator Name 島袋, 瞬 Shimabukuro, Shun シマブクロ, シュン Affiliation Affiliation Name 九州大学応用力学研究所 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Language	Japanese
Publisher	九州大学応用力学研究所
Publisher	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Date	2021-07
Source Title	Reports of Technical Service Division, RIAM
Vol	3
First Page	13
Last Page	15
Publication Type	Version of Record
Access Rights	open access
JaLC DOI	https://doi.org/10.15017/4482079
Abstract	透過型電子顕微鏡（TEM）で金属試料を観察するための試料作製手法の一つにFIB がある。FIB は試料表面の任意の領域をスパッタリングによって加工できるが、同時にスパッタリングによる試料へのダメージが避けられない。そのため、FIB 加工後に0.1 秒の電解研磨（フラッシュ電解研磨）を行うことでダメージが除去された試料を作製できるか評価した。本稿ではその評価内容と課題について紹介する。

File	FileType	Size	Views	Description
03_p013	pdf	1.10 MB	711