電解研磨法による透過型電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製 - Collections

＜technical report＞
電解研磨法による透過型電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製

Creator	Creator Name 荒木, 邦明 Araki, Kuniaki アラキ, クニアキ Affiliation Affiliation Name 九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Language	Japanese
Publisher	九州大学応用力学研究所
Publisher	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Date	2011-03
Source Title	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Vol	12
First Page	115
Last Page	118
Publication Type	Version of Record
Access Rights	restricted access
Table of Contents	1. 背景 2. 透過型電子顕微鏡観察用の猷料作製方法 3. 電解研磨法が金属系試料の薄膜化に多用される理由 4. 電解研磨装置（Tenupol-5）の特徴と読料の研磨方法 6. 電解研磨法をより効果的にする方法 7. 電解研磨法で試料を作製する場合の注意点 8. 今後の課題とまとめ