ハイパワーフォトンが創る世界 - Collections

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ハイパワーフォトンが創る世界

Creator	Author PID K004436 Creator Name 池上, 浩 Ikenoue, Hiroshi イケノウエ, ヒロシ Affiliation Affiliation Name 九州大学大学院システム情報科学研究院ギガフォトンNext GLP共同研究部門 : 准教授 Department of Gigaphoton Next GLP, Faculty of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University : Associate Professor
Creator	Creator Name 藤本, 准一 Fujimoto, Junichi フジモト, ジュンイチ Affiliation Affiliation Name ギガフォトン株式会社技術統括部 : 部長 Gigaphoton Inc.
Language	Japanese
Date	2014-08-06
Source Title	ISEE Summer Seminar
Vol	2014
Publication Type	Version of Record
Access Rights	open access
Related DOI	http://portal.isee.kyushu-u.ac.jp/
	http://portal.isee.kyushu-u.ac.jp/education/event/summer_seminar.html
	http://www.gigaphoton.com/
Related URI	http://portal.isee.kyushu-u.ac.jp/
	http://portal.isee.kyushu-u.ac.jp/education/event/summer_seminar.html
	http://www.gigaphoton.com/
Relation	http://portal.isee.kyushu-u.ac.jp/
	http://portal.isee.kyushu-u.ac.jp/education/event/summer_seminar.html
	http://www.gigaphoton.com/

File	FileType	Size	Views	Description
ISEE_SummerSeminar_2014_4_Ikenoue	pdf	5.32 MB	1,419

Record ID	1456174
Peer-Reviewed	Unrefereed
Subject Terms	光
	light
	レーザー
	laser
	レーザープロセシング
	laser processing
	半導体デバイス
	semiconductor device
	リソグラフィー
	lithography
	極短紫外光
	extremely short ultraviolet light
Notes	九州大学公開講座先端サマーセミナー2014 システム情報科学による安心の社会基盤 : 2014年8月6日
Type	スライド資料
Type	slide
Created Date	2014.08.04
Modified Date	2018.07.09