チョクラルスキー法によって育成された低酸素濃度・窒素ドープシリコン単結晶の欠陥形成挙動に関する研究 - 九大コレクション

＜博士論文＞
チョクラルスキー法によって育成された低酸素濃度・窒素ドープシリコン単結晶の欠陥形成挙動に関する研究

作成者	作成者姓名梶原, 薫 KAJIWARA, Kaoru カジワラ, カオル
論文調査委員	西澤, 伸一
	齋藤, 渉,
	柿本, 浩一
本文言語	日本語
学位授与年度	2022
学位授与大学	九州大学
学位授与大学	Kyushu University
学位	博士（工学）
学位種別	課程博士
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	open access

ファイル	ファイルタイプ	利用条件	サイズ	閲覧回数	説明
tj1261	pdf	なし	5.06 MB	3,213	本文
tj1261_abstract	pdf	なし	202 KB	346	要旨
tj1261_review	pdf	なし	108 KB	213	審査結果要旨