反応性スパッタリングによる(ZnO)x(InN)1-xの高品質結晶薄膜の作製と発光特性の評価 - 九大コレクション

＜博士論文＞
反応性スパッタリングによる(ZnO)x(InN)1-xの高品質結晶薄膜の作製と発光特性の評価

作成者	作成者姓名宮原, 奈乃華 Miyahara, Nanoka ミヤハラ, ナノカ
論文調査委員	白谷, 正治
	興, 雄司
	板垣, 奈穂
本文言語	英語
学位授与年度	2019
学位授与大学	九州大学
学位授与大学	Kyushu University
学位	博士（工学）
学位種別	課程博士
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	open access
JaLC DOI	https://doi.org/10.15017/2534465

ファイル	ファイルタイプ	サイズ	閲覧回数	説明
isee0668	pdf	4.27 MB	1,384	本文
isee0668_abstract	pdf	164 KB	223	要旨
isee0668_review	pdf	122 KB	233	審査結果要旨