<テクニカルレポート>
Siウェハライフタイム測定条件の最適化

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概要 半導体デバイスの特性と製造工程におけるSi ウェハの性質を包括的に評価する指標として、少数キャリアライフタイムが挙げられる。ライフタイムを正しく評価するためには、表面再結合を抑制し、バルクライフタイムの測定手法を確立する必要がある。本報告では、キンヒドロン-メタノール溶液によるパッシベーションを施したSi ウェハのライフタイムを測定し、溶液の組成等がライフタイムに与える影響を考察することで、測定条...件の最適化を試みた。続きを見る

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登録日 2021.07.16
更新日 2021.07.16

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