<テクニカルレポート>
シリコン単結晶成長におけるリン濃度分布の数値解析

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概要 シリコン結晶成長時には、一般的にボロンやリンといったドーパント不純物を添加する。このようなドーパント不純物の結晶中濃度分布は、偏析現象に大きく依存している。特にリンは偏析係数が小さいため、結晶中濃度分布が不均一となり、抵抗率分布に影響を及ぼす。今回、シリコン結晶成長過程において、融液表面からのリンの蒸発フラックスを制御することで、結晶中リン濃度分布の制御が可能かについて、数値計算を用いて解析を行っ...た。続きを見る

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登録日 2021.07.16
更新日 2021.07.16

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