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＜テクニカルレポート＞
シリコン結晶育成時における転位密度の種結晶依存性
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| 概要 | 太陽電池用シリコン結晶にとって、変換効率を低下させる転位は大きな問題である。この太陽電池用シリコンの結晶成長において、種結晶を用いた種結晶成長法は、コストが低く高品質なため、現在多用されている方法である。シリコン結晶中の酸素が増加すると、転位の運動速度が減少し、転位の増殖が抑制されることが報告されている。本報告では、種結晶成長法に用いる種結晶の酸素濃度と転位密度との関係について解析を行った。 |
詳細
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| 登録日 | 2020.07.20 |
| 更新日 | 2021.03.23 |