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＜テクニカルレポート＞
種結晶成長法における転位密度の数値解析
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| 概要 | 太陽電池用シリコン結晶の成長において、転位は結晶の品質を低下させる大きな要因である。よって、シリコン結晶の品質の向上には、転位密度の精密な制御が重要である。今回、代表的な結晶成長方法の1つである種結晶成長法において、異なる結晶方位を持つ種結晶を用いた場合における転位密度の3次元数値解析を行った。その結果、種結晶の結晶方位と転位密度との関係について、いくつかの知見を得た。 |
詳細
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| 登録日 | 2019.07.24 |
| 更新日 | 2021.03.23 |