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＜テクニカルレポート＞
金属系材料の表面観察用薄膜試料の作製手法
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| 概要 | 近年金属系材料の分析及び解析技術はその周辺分析解析装置等の発達により著しく向上している。それは金属系材料の表面観察分野に於いても例外ではなく、FIB （集束イオンビーム装置）やIM （イオンミリング装置）等の装置を利用して金属系材料よりその目的に応じて試料を作製する場合も同様である。然しながら金属の表面に意図的にダメージ（照射損傷）を与えてその影響を解析する場合、集束イオンビーム装置やイオンミリン...グ装置によって表面観察用の薄膜試料を作製してもその作製した試料の表面にFIBの場合はイオン源にCaイオンを用いるのでその影響が、IMの場合は用いるガスのスッバッタイオンの影響が少なからず残り確実な情報が得られない。この様な場合、最適な方法として従来からの電解研磨法による表面観察用薄膜試料の作製が有効である。続きを見る |
| 目次 | I. 背景 2. イオンミリング法の特長 3. 集束イオンビーム法の特長 4. 電解研磨法の特長 5. 電解研磨法による表面観察試料の作製方法 5-1観察試料の作製手順 5-2電解研磨の条件 6. 電子顕微鏡観察用金属試料の電解研磨条件 7. 今後の課題とまとめ |
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| 登録日 | 2018.11.20 |
| 更新日 | 2018.12.04 |