真空蒸着法による金コーティングとプラズマ表面相互作用研究への応用 - 九大コレクション

＜テクニカルレポート＞
真空蒸着法による金コーティングとプラズマ表面相互作用研究への応用

作成者	作成者名宮本, 好雄 Miyamoto, Yoshio ミヤモト, ヨシオ所属機関所属機関名九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
本文言語	日本語
出版者	九州大学応用力学研究所
出版者	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
発行日	2011-03
収録物名	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
巻	12
開始ページ	119
終了ページ	122
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	restricted access
目次	1. はじめに 2. 蒸着法 3. Auコーティング試料の作製 4. プラズマ表面相互作用研究への応用 5. まとめ