電解研磨法による透過型電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製 - 九大コレクション

＜テクニカルレポート＞
電解研磨法による透過型電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製

作成者	作成者名荒木, 邦明 Araki, Kuniaki アラキ, クニアキ所属機関所属機関名九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
本文言語	日本語
出版者	九州大学応用力学研究所
出版者	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
発行日	2011-03
収録物名	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
巻	12
開始ページ	115
終了ページ	118
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	restricted access
目次	1. 背景 2. 透過型電子顕微鏡観察用の猷料作製方法 3. 電解研磨法が金属系試料の薄膜化に多用される理由 4. 電解研磨装置（Tenupol-5）の特徴と読料の研磨方法 6. 電解研磨法をより効果的にする方法 7. 電解研磨法で試料を作製する場合の注意点 8. 今後の課題とまとめ