PVD-Au-Sn膜を使用した電子部品マイクロ接合層のEPMA分析 - 九大コレクション

＜テクニカルレポート＞
PVD-Au-Sn膜を使用した電子部品マイクロ接合層のEPMA分析

作成者	作成者名松原, 監壯 Matsubara, Terutake マツバラ, テルタケ所属機関所属機関名九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
本文言語	日本語
出版者	九州大学応用力学研究所
出版者	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
発行日	2007-03
収録物名	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
巻	8
開始ページ	74
終了ページ	77
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	restricted access
目次	1.緒言 2.実績方法 3.結果および考察 4.結言