TRIAM-1Mにおけるプラズマ容器内真空度制御用ガス供給制御装置の製作 - 九大コレクション

＜テクニカルレポート＞
TRIAM-1Mにおけるプラズマ容器内真空度制御用ガス供給制御装置の製作

作成者	作成者名川﨑, 昌二 Kawasaki, Shoji カワサキ, ショウジ所属機関所属機関名九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
本文言語	日本語
出版者	九州大学応用力学研究所
出版者	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
発行日	2000-03
収録物名	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
巻	1
開始ページ	2
終了ページ	13
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	restricted access
目次	1.はじめに 2.ガス圧一定制御システムの構成 3.ガス供給制御装置の基本構成 4.主な回路について 5.ガス供給制御装置の外観 6.テスト結果 7.まとめ