<テクニカルレポート>
薄片試料作製用冶具の製作と試料作製方法の紹介

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概要 応用力学研究所高温プラズマ理工学研究センターでは、QUEST 実験装置(九大プラズマ境界力学実験装置)を用いた様々な研究が行われている。筆者の長期派遣先研究室では、プラズマとQUEST 炉壁の相互作用(PWI:Plasma Wall Interaction)に関する研究を行っている。今回、QUEST 炉壁表面における特異な不純物堆積状況や、それに起因するプラズマとの相互作用を解明するため、表面状態...詳細を総合的に調査することとなった。調査のために炉壁パネルを取り出し、様々な材料検査手法に応じた試料片が必要となる。また、検査によっては複数個の試料が必要となるため、試料を効率よく作製する必要があった。そこで、汎用フライス盤を用いて、効率的な薄片試料作製を可能にするため加工用の治具を製作した。本稿では、製作した薄片試料製作用治具の製作および治具を使用した試料片の作製手順について記す。続きを見る

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登録日 2018.05.16
更新日 2018.05.21

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