シリコン多結晶育成時における結晶成長速度と炉の大きさの固液界面形状に与える影響 - 九大コレクション

＜テクニカルレポート＞
シリコン多結晶育成時における結晶成長速度と炉の大きさの固液界面形状に与える影響

作成者	著者識別子 L000986 作成者名中野, 智 Nakano, Satoshi ナカノ, サトシ所属機関所属機関名九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
本文言語	日本語
出版者	九州大学応用力学研究所
出版者	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
発行日	2010-03
収録物名	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
巻	11
開始ページ	23
終了ページ	28
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	open access
JaLC DOI	https://doi.org/10.15017/17837
関連DOI	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 11 \|\| p23-28
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 11 \|\| p23-28
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp
関連URI	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 11 \|\| p23-28
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 11 \|\| p23-28
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp
関連情報	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 11 \|\| p23-28
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 11 \|\| p23-28
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp

ファイル	ファイルタイプ	サイズ	閲覧回数	説明
p023	pdf	501 KB	1,046