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＜紀要論文＞
材質の異ったリジターノコイルによるプラズマの生成
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| 概要 | An attempt to produce a pure ECR plasma is performed with an aluminium Lisitano coil. Plasma parameters obtained agree well with those of the plasma produced with a copper Lisitano coil. Sputtered-imp...urity atoms which are ejected from the surface of the aluminium Lisitano coil are found to be very few, compared with the copper Lisitano coil.続きを見る |
詳細
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| 登録日 | 2010.06.12 |
| 更新日 | 2020.12.09 |