<紀要論文>
マルチスロットアンテナを用いたECRプラズマCVD

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概要 An electron cyclotron resonance (ECR) plasma is produced with a mulutislot antenna, and the optimum conditions for preparation of MonC thin films are experimentally examined. Deposition of WO2 films i...s also attempted by sputtering of tungsten filaments, assisted with the ECR plasma.続きを見る

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登録日 2010.06.12
更新日 2020.12.11

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