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＜テクニカルレポート＞
真空排気系のトラブルと対策例
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| 概要 | 各種実験装置や分析機器等に用いられる真空排気装置では、時折、排気系においてトラブルが発生する。 トラブルの内容によって軽微なときは数日、深刻なダメージを受けた場合は、1カ月以上にわたって実験装 置が使用不可となることもあり得る。今回のレポートでは、実際に発生したトラブルと対策例について紹介 する。 |
| 目次 | 1 .はじめに 2. 真空排気系のトラブルと対策例 2-1. RPのオイル量不足と変色 2-2. RPオイルの逆流による配管の汚染 2-3. シンフレックスチューブの破断（その1） 2-4. 空圧電磁弁の故障 2-5. DP冷却用配管の自詰まり 2-6. DP ヒーターの断線 2-7. DPのオイル量不足 2-8. シンフレックスチューフの破断（その2） 3. あとがき続きを見る |
詳細
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| 登録日 | 2018.12.06 |
| 更新日 | 2018.12.06 |