<テクニカルレポート>
真空排気系のトラブルと対策例

作成者
本文言語
出版者
発行日
雑誌名
開始ページ
終了ページ
出版タイプ
アクセス権
概要 各種実験装置や分析機器等に用いられる真空排気装置では、時折、排気系においてトラブルが発生する。 トラブルの内容によって軽微なときは数日、深刻なダメージを受けた場合は、1カ月以上にわたって実験装 置が使用不可となることもあり得る。今回のレポートでは、実際に発生したトラブルと対策例について紹介 する。
目次 1 .はじめに
2. 真空排気系のトラブルと対策例
2-1. RPのオイル量不足と変色
2-2. RPオイルの逆流による配管の汚染
2-3. シンフレックスチューブの破断(その1)
2-4. 空圧電磁弁の故障
2-5. DP冷却用配管の自詰まり
2-6. DP ヒーターの断線
2-7. DPのオイル量不足
2-8. シンフレックスチューフの破断(その2)
3. あとがき
続きを見る

詳細

NCID
レコードID
主題
登録日 2018.12.06
更新日 2018.12.06