<博士論文>
硬質被膜応用に向けた異なる基板パラメータにおける超ナノ微結晶ダイヤモンド/アモルファスカーボン混相膜の同軸型アークプラズマ堆積法による成膜

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登録日 2021.11.02
更新日 2021.12.06

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