チョコラルスキー法によるシリコン単結晶育成中の欠陥形成挙動に及ぼす水素の影響 - Collections

＜Doctoral Thesis＞
チョコラルスキー法によるシリコン単結晶育成中の欠陥形成挙動に及ぼす水素の影響

Creator	Creator Name 杉村, 渉 Sugimura, Wataru スギムラ, ワタル
Examiner	東田賢二
	堀田善治
	宮原広郁
	田中將己
Language	Japanese
Academic Year Conferred	2015
Conferring University	九州大学
Conferring University	Kyushu University
Degree	DOCTOR OF ENGINEERING
Degree Type	Doctoral Degree
Access Rights	metadata only access

File	FileType	Size	Views	Description
eng2527_abstract	pdf	93.5 KB	659	要旨
eng2527_review	pdf	33.7 KB	207	審査結果要旨

Record ID	1654835
Peer-Reviewed	Refereed
Rights	やむを得ない事由により本文ファイル非公開 (3)
Rights	Public access to the fulltext file is restricted for unavoidable reason (3)
Report Number	17102甲第13007号
Number of Diploma	工博甲第2527号
Granted Date	2016-03-25
Date Accepted	2016-02-04
Faculty	工博
Location	SciTech
Location	学位論文書庫【閉架】
Location	Closed Stacks
Call Number	工博/甲/2527
Notes	主1
Notes	物質プロセス工学
Created Date	2016.05.10
Modified Date	2020.10.09