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＜technical report＞
Si結晶のPL測定における測定技術向上に向けた取り組み
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| Abstract | 太陽電池やパワーデバイスの高性能化に向けて、Si結晶基板の高品質化が求められている中、結晶内の残留炭素はデバイスの品質低下を引き起こす有害な不純物としてその低減が課題となっている。その実現に向けた取り組みの一環として、フォトルミネッセンス法を用いた結晶内炭素濃度定量法の標準化に向けた研究が進められている。本稿では、実際に測定を行う上で筆者が直面した種々の問題とその解決手法について記載する。 |
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| File | FileType | Size | Views | Description |
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04_p007
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2.06 MB | 1,050 |
Details
| NCID | |
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| Record ID | |
| Subject Terms | |
| Created Date | 2022.07.25 |
| Modified Date | 2022.07.25 |