<technical report>
フラッシュ電解研磨を用いたFIB試料作製に係る評価と課題
Creator | |
---|---|
Language | |
Publisher | |
Date | |
Source Title | |
Vol | |
First Page | |
Last Page | |
Publication Type | |
Access Rights | |
JaLC DOI | |
Abstract | 透過型電子顕微鏡(TEM)で金属試料を観察するための試料作製手法の一つにFIB がある。FIB は試料表面の任意の領域をスパッタリングによって加工できるが、同時にスパッタリングによる試料へのダメージが避けられない。そのため、FIB 加工後に0.1 秒の電解研磨(フラッシュ電解研磨)を行うことでダメージが除去された試料を作製できるか評価した。本稿ではその評価内容と課題について紹介する。 |
Hide fulltext details.
File | FileType | Size | Views | Description |
---|---|---|---|---|
03_p013 | 1.10 MB | 800 |
Details
NCID | |
---|---|
Record ID | |
Subject Terms | |
Created Date | 2021.07.16 |
Modified Date | 2021.07.16 |