真空蒸着法による金コーティングとプラズマ表面相互作用研究への応用 - Collections

＜technical report＞
真空蒸着法による金コーティングとプラズマ表面相互作用研究への応用

Creator	Creator Name 宮本, 好雄 Miyamoto, Yoshio ミヤモト, ヨシオ Affiliation Affiliation Name 九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Language	Japanese
Publisher	九州大学応用力学研究所
Publisher	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Date	2011-03
Source Title	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Vol	12
First Page	119
Last Page	122
Publication Type	Version of Record
Access Rights	restricted access
Table of Contents	1. はじめに 2. 蒸着法 3. Auコーティング試料の作製 4. プラズマ表面相互作用研究への応用 5. まとめ