電解研磨法による透過型電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製とその応用 - 九大コレクション

＜テクニカルレポート＞
電解研磨法による透過型電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製とその応用

作成者	作成者名荒木, 邦明 Araki, Kuniaki アラキ, クニアキ所属機関所属機関名九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
本文言語	日本語
出版者	九州大学応用力学研究所
出版者	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
発行日	2009-03
収録物名	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
巻	10
開始ページ	157
終了ページ	160
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	restricted access
目次	1 . はじめに 2. 電解研磨法によ薄膜試料の作製 3. タングステン蒸着膜における水素保持・放出特性 4. QUEST用試料作製と分析・観察 5. まとめ