TRIAM-1Mにおけるプラズマ容器内真空度制御用ガス供給制御装置の製作 - Collections

＜technical report＞
TRIAM-1Mにおけるプラズマ容器内真空度制御用ガス供給制御装置の製作

Creator	Creator Name 川﨑, 昌二 Kawasaki, Shoji カワサキ, ショウジ Affiliation Affiliation Name 九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Language	Japanese
Publisher	九州大学応用力学研究所
Publisher	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Date	2000-03
Source Title	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Vol	1
First Page	2
Last Page	13
Publication Type	Version of Record
Access Rights	restricted access
Table of Contents	1.はじめに 2.ガス圧一定制御システムの構成 3.ガス供給制御装置の基本構成 4.主な回路について 5.ガス供給制御装置の外観 6.テスト結果 7.まとめ