<テクニカルレポート>
TRIAM-1Mにおけるプラズマ容器内真空度制御用ガス供給制御装置の製作
作成者 | |
---|---|
本文言語 | |
出版者 | |
発行日 | |
収録物名 | |
巻 | |
開始ページ | |
終了ページ | |
出版タイプ | |
アクセス権 | |
目次 | 1.はじめに 2.ガス圧一定制御システムの構成 3.ガス供給制御装置の基本構成 4.主な回路について 5.ガス供給制御装置の外観 6.テスト結果 7.まとめ |
詳細
NCID | |
---|---|
レコードID | |
主題 | |
登録日 | 2018.09.20 |
更新日 | 2024.01.31 |