シリコン多結晶育成時における結晶成長速度と炉の大きさの固液界面形状に与える影響 - Collections

＜technical report＞
シリコン多結晶育成時における結晶成長速度と炉の大きさの固液界面形状に与える影響

Creator	Author PID L000986 Creator Name 中野, 智 Nakano, Satoshi ナカノ, サトシ Affiliation Affiliation Name 九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Language	Japanese
Publisher	九州大学応用力学研究所
Publisher	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Date	2010-03
Source Title	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Vol	11
First Page	23
Last Page	28
Publication Type	Version of Record
Access Rights	open access
JaLC DOI	https://doi.org/10.15017/17837
Related DOI	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 11 \|\| p23-28
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 11 \|\| p23-28
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp
Related URI	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 11 \|\| p23-28
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 11 \|\| p23-28
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp
Relation	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 11 \|\| p23-28
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 11 \|\| p23-28
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp

File	FileType	Size	Views	Description
p023	pdf	501 KB	1,084