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<テクニカルレポート>
シリコン多結晶育成時における結晶成長速度と炉の大きさの固液界面形状に与える影響
作成者
著者識別子
L000986
作成者名
中野, 智
Nakano, Satoshi
ナカノ, サトシ
所属機関
所属機関名
九州大学応用力学研究所技術室
Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
本文言語
日本語
出版者
九州大学応用力学研究所
Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
発行日
2010-03
収録物名
九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート
巻
11
開始ページ
23
終了ページ
28
出版タイプ
Version of Record
アクセス権
open access
JaLC DOI
https://doi.org/10.15017/17837
関連DOI
九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート || 11 || p23-28
Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University || 11 || p23-28
http://www.riam.kyushu-u.ac.jp
関連URI
九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート || 11 || p23-28
Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University || 11 || p23-28
http://www.riam.kyushu-u.ac.jp
関連情報
九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート || 11 || p23-28
Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University || 11 || p23-28
http://www.riam.kyushu-u.ac.jp
本文ファイル
ファイル
ファイルタイプ
サイズ
閲覧回数
説明
p023
pdf
501 KB
1,124
詳細
レコードID
17837
査読有無
査読無
NCID
AA11837762
タイプ
手法(計測・解析)・数値実験
登録日
2010.07.06
更新日
2020.01.17
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