<紀要論文>
材質の異ったリジターノコイルによるプラズマの生成
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概要 | An attempt to produce a pure ECR plasma is performed with an aluminium Lisitano coil. Plasma parameters obtained agree well with those of the plasma produced with a copper Lisitano coil. Sputtered-imp...urity atoms which are ejected from the surface of the aluminium Lisitano coil are found to be very few, compared with the copper Lisitano coil.続きを見る |
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登録日 | 2010.06.12 |
更新日 | 2020.12.09 |