融液対流及び坩堝半径がシリコン多結晶育成に及ぼす影響についての考察 - Collections

＜technical report＞
融液対流及び坩堝半径がシリコン多結晶育成に及ぼす影響についての考察

Creator	Author PID L000986 Creator Name 中野, 智 Nakano, Satoshi ナカノ, サトシ Affiliation Affiliation Name 九州大学応用力学研究所技術室 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Language	Japanese
Publisher	九州大学応用力学研究所
Publisher	Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Date	2008-03
Source Title	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University
Vol	9
First Page	37
Last Page	45
Publication Type	Accepted Manuscript
Access Rights	open access
Related DOI	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 9 \|\| p37-45
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 9 \|\| p37-45
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp/
Related URI	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 9 \|\| p37-45
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 9 \|\| p37-45
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp/
Relation	九州大学応用力学研究所技術職員技術レポート \|\| 9 \|\| p37-45
	Technical reports by technical staffs of Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University \|\| 9 \|\| p37-45
	http://www.riam.kyushu-u.ac.jp/

File	FileType	Size	Views	Description
p037	pdf	4.15 MB	982