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＜テクニカルレポート＞
PL法によるSi中のSbドナー定量分析
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| 概要 | PL法はSi結晶中の不純物濃度を定量する測定手法の一つであり、JIS規格においてはP,As,AlおよびB濃度の定量測定法として規定されている。Sbはドナー元素として、PやAsと共に広く利用されているが、PL法による定量測定についての報告は過去にない。今回、Sbドープ結晶のPL測定を行うことで、Sb濃度定量測定のための検量線を作成した。また、PとSbが共存する試料において、PとSbを分離して定量する...手法を開発した。続きを見る |
詳細
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| 助成情報 | |
| 登録日 | 2025.07.25 |
| 更新日 | 2025.08.01 |