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＜博士論文＞
チョクラルスキー法シリコン単結晶成長プロセスにおける結晶欠陥の発生挙動とマランゴニ効果に関する研究
| 作成者 | |
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| 論文調査委員 | |
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| 学位授与年度 | |
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本文ファイル
| ファイル | ファイルタイプ | サイズ | 閲覧回数 | 説明 |
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tj1314
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6.19 MB | 473 | 本文 | |
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tj1314_abstract
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145 KB | 115 | 要旨 | |
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tj1314_review
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70.5 KB | 81 | 審査結果要旨 |
詳細
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| 査読有無 | |
| 報告番号 | |
| 学位記番号 | |
| 授与日(学位/助成/特許) | |
| 受理日 | |
| 部局 | |
| 登録日 | 2024.06.24 |
| 更新日 | 2024.09.18 |