Beyond ab initio reaction simulator: An application to GaN metalorganic vapor phase epitaxy - 九大コレクション | 九州大学附属図書館

＜学術雑誌論文＞
Beyond ab initio reaction simulator: An application to GaN metalorganic vapor phase epitaxy

作成者	著者識別子 100022573 0000-0002-1296-9180 作成者名 Kusaba, Akira 草場, 彰クサバ, アキラ所属機関所属機関名 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University 九州大学応用力学研究所
	著者識別子 80774679 作成者名 Nitta, Shugo 新田, 州吾ニッタ, シュウゴ所属機関所属機関名 Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University 名古屋大学未来材料・システム研究所
	著者識別子 20334039 作成者名 Shiraishi, Kenji 白石, 賢二シライシ, ケンジ所属機関所属機関名 Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University 名古屋大学未来材料・システム研究所
	著者識別子 80302660 0000-0003-1590-0231 作成者名 Kuboyama, Tetsuji 久保山, 哲二クボヤマ, テツジ所属機関所属機関名 Computer Centre, Gakushuin University 学習院大学
	著者識別子 0000-0002-4982-8883 作成者名 Kangawa, Yoshihiro 寒川, 義裕カンガワ, ヨシヒロ所属機関所属機関名 Research Institute for Applied Mechanics, Kyushu University 九州大学応用力学研究所
本文言語	英語
出版者	AIP Publishing
発行日	2022-10-18
収録物名	Applied Physics Letters
巻	121
号	16
開始ページ	162101
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	open access
権利関係	This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing. This article appeared in A. Kusaba, S. Nitta, K. Shiraishi, T. Kuboyama, Y. Kangawa; Beyond ab initio reaction simulator: An application to GaN metalorganic vapor phase epitaxy. Appl. Phys. Lett. 17 October 2022; 121 (16): 162101 and may be found at https://doi.org/10.1063/5.0119783.
権利関係	© 2022 Author(s). Published under an exclusive license by AIP Publishing.
関連DOI	以下と同一 https://doi.org/10.1063/5.0119783
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本文ファイル

ファイル	ファイルタイプ	サイズ	閲覧回数	説明
7173555	pdf	1.79 MB	164

詳細

PISSN	0003-6951
EISSN	1077-3118
NCID	AA00543431
レコードID	7173555
主題	Epitaxy
	Reaction mechanisms
	Chemical reaction dynamics
	Time of flight mass spectrometry
タイプ	Research Article
助成情報	助成機関名 ACT-X 研究課題番号 JPMJAX20A7 研究課題名次世代半導体開発におけるプロセス設計の革新
	助成機関名 Japan Society for the Promotion of Science 日本学術振興会研究課題番号 20K15181 研究課題名表面再構成インフォマティクスによる大規模周期構造の探索
	助成機関名 Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology 文部科学省研究課題番号 JPMXP1020200205
登録日	2024.04.19
更新日	2024.12.02