物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究 - 九大コレクション

＜博士論文＞
物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究

作成者	作成者姓名沖村, 邦雄 Okimura, Kunio オキムラ, クニオ
本文言語	日本語
学位授与年度	1995
学位授与大学	九州大学
学位授与大学	Kyushu University
学位	博士（工学）
学位種別	論文博士
出版タイプ	Version of Record
アクセス権	open access
JaLC DOI	https://doi.org/10.11501/3106943
関連URI	https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3106943
目次	第1章序論第2章プラズマ診断方法第3章 Al-Ar混合気体放電のプラズマパラメータと電離機構第4章 RFマグネトロンスパッタリングのプラズマ診断第5章 RFマグネトロンスパッタリングによるTiO_2薄膜の性質とプラズマ特性の相関第6章プラズマの能動的制御によるTiO_2膜質の制御第7章総括

ファイル	ファイルタイプ	サイズ	閲覧回数	説明
okimura1	pdf	8.69 MB	2,724
okimura2	pdf	12.7 MB	5,575